转向自研！三星内部开发“智能传感器” 有望提高半导体良率(2024-06-02)

财联社12月26日讯（编辑 周子意）三星电子正在开发自己的“智能传感器系统”，用于对半导体工艺的控制和管理。这项新技术有望提高半导体良率、提高生产率。

据ETNews报道，三星电子内部已经开始了智能传感器系统的研究与开发，预计未来将应用于无人驾驶和人工智能半导体制造过程。该项目据悉正在与有关伙伴和学术界合作进行。

精确测量和管理等离子体条件，被认为是半导体生产工艺中的重要工作之一，因为只有在半导体制造过程中精确控制等离子体的均匀性和密度，才能提高半导体良率、确保产量。

而“智能传感器系统”可以用于测量晶圆等离子均匀性，准确测量和管理蚀刻、沉积和清洗的工艺性能，有望实现产能的提高。

该公司现有的晶圆智能传感器大部分采购自国外厂商，耗资巨大。而近期，鉴于对提高产量和生产率的需求不断飙升，三星选择转向内部研发，降低对外国传感器的依赖程度。

此外，三星电子正在开发的智能传感器据悉是超小型的，不会对现有设备空间造成太大影响。这意味着还能够提高空间利用率。

三星电子还计划逐步扩大智能传感器的开发和应用范围。其目的是开发智能传感器和系统，可用于各种半导体工艺，而不限于等离子体。

上述举动是三星对构建智能半导体生产系统的尝试，或许最终有望实现“人工智能晶圆厂”。